電感耦合等離子真空腔體通常用于制造高真空環境下的實驗室設備和工業設備。這些設備包括:惰性氣體保護焊接設備、電子束物理氣相沉積設備、分子束外延設備、離子束蝕刻設備。除了以上應用,真空石英腔體還可以用于制...
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